Pad abrasif Diamant 3M™ Trizact™
- 3M ID B5005049057
Détails
Descriptions
- Revêtues de diamant CVD
- Structures microrépliquées avec contrôle précis
- Performances uniformes d'un disque à l'autre et sur l'ensemble de la surface de découpe non métallique
- Idéal pour les processus de technologie avancée sensibles à la contamination métallique
Reposant sur le savoir-faire de 3M en matière d'abrasifs, de céramiques et de microréplication, le conditionneur de pad 3M™ Trizact™ est un conditionneur novateur de CMP (Chemical Mechanical Polishing) pour la fabrication de semi-conducteurs de technologie avancée.
Spécifications
| Utilisation | Nœud avancé (mémoire et logique), Fabrication de plaquettes, CMP |
