Contacteurs membranaires 3M™ Liqui-Cel™ pour microélectronique et semi-conducteur

Comme le traitement des semi-conducteurs, la fabrication d’écrans plats et d’autres industries de haute technologie passent à des épaisseurs de lignes plus petites, à des dimensions de plaquettes plus grandes et à une technologie d'affichage avancée, le contrôle des gaz dissous est une considération essentielle dans la production d'une eau ultra-pure de qualité pour les semi-conducteurs et la microélectronique.

En raison de leur efficacité, de leur simplicité et de leurs performances élevées en matière d'élimination des gaz, les contacteurs membranaires 3M™ Liqui-Cel™ sont considérés comme la référence en matière de technologie de dégazage dans les systèmes de traitement d'eau pour les semi-conducteurs et les écrans plats. Les contacteurs membranaires ont un faible niveau d'extraction et n'ont pas d'impact négatif sur la qualité de l'eau. Grâce à une conception du système appropriée, ils éliminent l'O₂ de l'eau jusqu'à moins de 1 ppm et le CO₂ dissous à 0,5 ppm. Les faibles niveaux d'oxygène dissous protègent les rendements du produit, tandis que les faibles niveaux de CO₂ peuvent aider à maximiser l'efficacité de l'électrodionisation (EDI) et autres processus d'échange d'ions.

Contrairement aux tours à vide classiques, les systèmes de contacteurs membranaires peuvent être étendus. À mesure que les besoins en volume d'eau augmentent ou que les spécifications de gaz dissous diminuent, des contacteurs supplémentaires peuvent être ajoutés à un système pour répondre à l'évolution des besoins.

Les contacteurs membranaires 3M™ Liqui-Cel™ permettent également de faibles concentrations et un contrôle précis des gaz dissous dans l'eau ultra-pure et autres fluides compatibles avec les procédés en laboratoire.